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本期向大家推介的是苏州大学在光电领域的一项成果:波长选择性响应的光电探测器的制备方法
知识产权信息:
专利号:ZL202011469548.2
专利类型:发明专利
专利权人:苏州大学
发明人:吴绍龙 詹纯 王冬唤
背景技术:透明导电层是一种对一定波段范围内的光子具有较高透光率,同时具有良好导电性的薄膜层。透明导电层被广泛用作太阳能电池、光电探测器、发光二极管、光催化等光电子器件的正面电极。通常,理想的透明导电层需要在尽可能宽的光谱范围内呈现高透明性(即透光率高)和高导电率(即方块电阻很小)。目前,被广泛使用的透明导电材料主要有两类,一是金属掺杂的宽禁带半导体薄膜,如掺铝的氧化锌、掺锡的氧化铟;二是高占空比的金属网状薄膜或超薄的金属薄膜。
然而,用于光通信、光传感、激光测距等领域的光电探测器往往需要前置滤光装置,以实现器件针对单个目标波长或窄波段的光谱具有选择性的响应信号输出。若采用传统的氧化物膜系、高占孔比的金属网或超薄的金属薄膜作为上述领域光电探测器的透明导电电极,则光电器件不仅对目标波长会有响应,对干扰或噪声光波也同样具有响应。为了避免噪声光子的干扰,提高信噪比,外置滤光系统是必不可少的。如此操作,既增加了目标光信号的探测成本,还会增加探测系统的体积,不利于光电探测系统的小型化与集成化应用。
成果简介:本发明属于光电器件领域,公开了波长选择性响应光电探测器的制备方法,在透明基底上依次设置纳米孔图案化金属薄膜层、光敏半导体材料层、致密金属薄膜层、绝缘保护层、以及分别在纳米孔图案化金属薄膜层和致密金属薄膜层中引出两个引线端;纳米孔图案化金属薄膜层与致密金属薄膜层形成法布里-珀罗谐振腔。由于纳米孔为对称的阵列结构,使其对入射光子的偏振角度具有不显著的依赖特性,进而使得光电探测器可实现偏振不敏感的波长选择性响应,法布里-珀罗谐振腔使得目标光子在光敏半导体材料层中光学共振,增强了光敏半导体材料层对目标光子的吸收率。
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